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 ICP光譜儀在使用之后要不斷進行保養維護，下面是一些保養的技巧：

(1)ICP光譜儀使用環境，與其它大型精密儀器—樣，ICP光譜儀的運行也需要在一定的環境下進行，達不到這些條件，不僅是儀器的使用效果不好，而且還會改變儀器的檢測性能，甚至造成儀器損壞，影響使用的壽命。

(2)ICP光譜儀的供電，保證儀器運行時，不會因為線路的電壓降過大，造成儀器損壞，影響儀器壽命。

(3) ICP光譜儀的氣體控制系統的維護，首先要做氣體試驗，打開氣體控制系統的電源開關，使電磁閥處于工作狀態，然后開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表 指針，應在幾個小時內沒有下降或下降很少，否則氣路中有漏氣現象，需要檢查和排除。 

(4)ICP光譜儀霧化器及光學系統維護，霧化器是進樣系統中最精密，最關鍵的部份，需要很好的維護和使用。在測定完樣品后，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部以及炬管噴嘴都會有積鹽份，會造成氣溶膠的通道不暢，—般是出現檢測出來的元素強度下降，儀器反射功率升高等，當儀器提示運行光學初始化時，須先做光學初始化。 

(5)其他。每次開機前，應事先計劃好實驗方案，做好準備工作，避免在一段時間內反復開機，因為每次開機時，其瞬間通過的電流要遠遠大于正常工作時的電流，可能造成某些元件的過早老化。icp光譜儀是需要定期維護地設備,這樣才能保證設備地正常運行和經久耐用。